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波长:13.5纳米。
曝光均匀性:99.2%。
报告厅安静了三秒。
然后掌声炸了。
范德贝尔站在台上,等掌声停了。
“62瓦。各位,我们原定的目标是50瓦,今天的实测数据超出了百分之二十四。”
台下记者开始举手。
范德贝尔摆了摆手。
“问题等会儿再说,先看完。”
屏幕上切出第二组数据。
分辨率测试:45纳米线宽,清晰,没有畸变。
第三组,套刻精度:3.2纳米。
范德贝尔指着屏幕。
“这意味着,EUV光刻技术从实验室走向了工程验证阶段。我们距离量产只差最后一步。”
掌声又起来了。
发布会结束,记者围上去。
范德贝尔回答了十二个问题。最后一个,金融时报的记者问。
“首批量产设备的客户名单,能透露吗?”
范德贝尔笑了一下。
“首批设备将优先供应我们的长期合作伙伴——台积电,三星,英特尔。至于亚洲其他地区的客户,目前没有计划。”
这句话当天晚上就上了所有科技媒体的头条。
彭博的标题。
“ASML宣布EUV光刻机突破关键里程碑:亚洲客户被排除在首批名单外”
京城,后海。
下午三点。
张红旗坐在地下室。
面前一台电脑,屏幕上放的是ASML发布会的网络直播回放。
他从头看到尾,看了两遍。
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